Tergeo等離子清洗機是在真空的腔體里，通過射頻(RF)電源在一定的壓力情況下產生高能量的無序等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面，以達到清洗目的的一種設備。其工作原理主要基于等離子體的物理和化學特性，具體過程如下：
 

　　1.等離子體的產生：通常采用射頻(RF)或微波(MW)等高頻電源，在低氣壓環境下(通常是真空或接近真空狀態)，使氣體分子被電離。當電源施加到氣體上時，電場加速氣體中的自由電子，這些高速電子與氣體分子碰撞，將氣體分子分解為正離子和電子，同時產生大量的自由基、紫外線等活性粒子，從而形成等離子體。這種等離子體由帶電粒子(正離子和電子)、中性粒子(原子、分子)以及自由基等組成，整體呈電中性。
 

　　2.清洗過程
 

　　-物理作用：等離子體中的離子、電子和活性粒子具有較高的能量，它們會轟擊被清洗物體的表面。這些高能粒子的撞擊可以有效地去除表面的污染物，如灰塵、油污、氧化物等。例如，對于一些附著在物體表面的微小顆粒，離子的轟擊就像“炮彈”一樣將其從表面擊落，實現物理清潔。
 

　　-化學反應：等離子體中的自由基和活性粒子具有很強的化學活性。它們可以與物體表面的污染物發生化學反應，將污染物分解為揮發性物質，從而實現化學清洗。例如，在氧氣等離子體中，氧自由基可以與有機物表面的氫原子結合，生成水和二氧化碳等揮發性物質，從而達到去除有機物的目的。同時，等離子體還可以對物體表面進行改性，如引入新的官能團，改變表面的親水性或疏水性等。
 

　　Tergeo等離子清洗機的測定步驟：
 

　　-直接觀察法：通過肉眼觀察處理后的樣品表面，判斷處理效果。若表面無明顯損傷、顏色變化不大，說明處理效果較好，還可觀察表面是否殘留未分解的物質，如塵埃、有機物等。
 

　　-表面粗糙度檢測：測量處理前后的表面粗糙度，了解對表面形貌的影響。一般來說，表面粗糙度越小，說明處理后表面越平整，有利于提高后續工藝的附著力和穩定性。
 

　　-表面能檢測：采用接觸角測量儀測定表面能，通過測量液體在固體表面的潤濕角來計算表面能。表面能越高，表明表面的潤濕性能越好。
 

　　-微觀結構觀察：利用高分辨率掃描電子顯微鏡或透射電子顯微鏡，觀察表面是否出現明顯劃痕、凹凸不平等現象，以及表面分子結構、晶格結構的變化等信息，進一步確認處理后的表面質量和效果。
 

　　-物理性能測試：測試處理后表面的硬度、韌性、耐磨性等物理性能，了解等離子清洗機對表面性能的影響程度，從而評估其處理效果。