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ANRIC推出了目前市場上占地面積最小的原子層沉積（ALD）設(shè)備。AT200M 經(jīng)濟(jì)型原子層沉積設(shè)備型號體積小巧，足以放入手套箱內(nèi)，因此成為對濕氣或空氣敏感的沉積工藝的理想解決方案。