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薄膜應力測量系統

簡要描述:薄膜應力測量系統:在硅片等基板上附膜時,由于基板和薄膜的物理定數有異,產生應力,進而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現為基板的翹曲,而薄膜應力測量裝置FLX系列可從這個翹曲(曲率半徑)的變化量測量其應力。

產品型號: Toho FLX-2320-S

所屬分類:薄膜應力測量系統

更新時間:2025-08-14

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

薄膜應力測量系統薄膜應力測量系統

薄膜應力測量系統:在硅片等基板上附膜時,由于基板和薄膜的物理定數有異,產生應力,進而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現為基板的翹曲,而薄膜應力測量裝置FLX系列可從這個翹曲(曲率半徑)的變化量測量其應力。

薄膜應力測量系統

技術參數:

Toho FLX-2320-S薄膜應力測量系統精確測量多種襯底材料、金屬和電介質等薄膜應力。



主要特點:

      ◆雙光源掃描(可見光激光源及不可見光激光源),系統可自動選擇*匹配之激光源;
     ◆系統內置升溫、降溫模擬系統,便于量測不同溫度下薄膜的應力,溫度調節范圍為-65℃至500℃;
     ◆自帶常用材料的彈性系數數據庫,并可根據客戶需要添加新型材料相關信息至數據庫,便于新材料研究;
     ◆形象的軟件分析功能,用于不同測量記錄之間的比較,且測量記錄可導出成Excel等格式的文檔;
     ◆具有薄膜應力3D繪圖功能。


薄膜應力測量系統用戶界面:

版WINDOWS OS易懂操作界面。

另搭載豐富的基板材料數據庫。自動保存測量數據等方便性能。

每個用戶可分別設定訪問權限。使用自帶軟件實現簡單卻性能高,簡單測量。


薄膜應力測量系統



 

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