KLA iMicro納米壓痕儀標配InForce 1000作動器，用于進行納米壓痕和納米力學試驗，并可選配InForce 50作動器用于測試較軟的材料。InView 軟件包靈活、現代，讓用戶輕松進行納米尺度測試。KLA iMicro納米壓痕儀是一款緊湊型測試平臺，其箱體中內置高速InQuest控制器和隔振框架。各種不同的材料和器件均可以進行測試，包括金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等。

產品特色

• InForce 1000作動器采用電容式位移傳感和電磁力驅動，且壓頭易于更換

• InForce 50作動器選件，提供最大50mN的法向力，可用于測量較軟的材料；Gemini 2D作動器選件，可實現兩個方向的動態測量的壓頭校準系統，集成在軟件中，可實現快速、準確的壓頭校準

• InQuest高速控制器電路，數據采集速率可達100kHz，時間常數最快為20µs

• XY運動系統以及易于安裝的磁性樣品臺

• 高剛度框架，且集成隔振功能

• 集成顯微鏡，數字變焦，可實現精確的壓痕定位

• 符合ISO 14577等標準的測試方法

• InView軟件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在線培訓和InView移動應用程序

產品應用

• 硬度和模量測量（基于Oliver-Pharr模型）

• 快速材料力學性能成像

• ISO 14577 硬度測試

• 聚合物損耗因子、儲存模量和損耗模量

• 定量的劃痕和磨損測試

• 高溫納米壓痕測試

適用行業

• 大學、科研實驗室和研究所

• 半導體與封裝產業

• PVD/CVD 硬質涂層（DLC、TiN）

• MEMS：微機電系統/納米力學試驗

• 陶瓷與玻璃

• 金屬與合金

• 制藥

• 涂層 涂料

• 復合材料

• 電池與儲能

• 汽車與航空航天