KLA Nano Indenter® G200X納米壓痕儀提供了易于使用的納米級力學測試工具，并快速、精確地對結果進行定量分析。G200X系統配置了我們性能優秀的運動系統、最大的樣品裝載系統和高分辨率光學顯微鏡。因為擁有InView軟件、InQuest控制器和InForce作動器，我們的整個壓痕產品線均擁有優秀的性能。KLA Nano Indenter® G200X納米壓痕儀系統選件包括連續剛度測量（CSM）、掃描探針顯微成像、劃痕測試、頻率掃描、電學性能測量、快速壓痕測試和沖擊測試。

主要功能

• 電磁驅動作動器可實現載荷和位移的寬動態范圍控制

• 高分辨率光學顯微鏡與精密XYZ移動系統的結合能實現高精度觀察與定位測試樣本。

• 便捷的樣品裝載臺與多樣品定位功能實現高通量測試。

• 模塊選件遠不止能進行壓痕測試，還可進行SPM成像、劃痕測試、高溫納米壓痕測量、動態壓痕測試（連續剛度測量）和快速壓痕測試等模塊化升級選件。

• 直觀的用戶操作界面便于快速進行測試設置；僅需點擊幾下鼠標即可完成測試的參數設置。

• 實時高效的實驗控制，簡單易用的測試流程開發和測試設置。

• 全套InView軟件，包括用于分析數據和創建報告的ReviewData和InFocus。

• 備受贊譽的快速納米壓痕測試可用于生成材料力學性能圖像，并提升統計數據的可靠性。

• InQuest高速數字控制器，數據采集速率最高可達100kHz，時間常數最快為20µs。

主要應用

• 快速硬度和模量測量（基于Oliver-Pharr模型）

• 快速材料表面力學特性成像

• ISO 14577硬度測試

• 薄膜及涂層測試

• 界面附著力測量

• 斷裂韌性測量

• 粘彈性測量，包括損耗因子，儲存模量和損耗模量

• 掃描探針顯微成像（3D 成像）

• 定量劃痕和摩擦磨損測試

• 高溫納米壓痕測試

• I-V測試

行業分布

• 高校、科研實驗室和研究所

• 半導體與封裝產業

• PVD/CVD硬質涂層（DLC、TiN）

• MEMS：微機電系統/納米級通用測試

• 陶瓷與玻璃

• 金屬與合金

• 制藥

• 涂層與油漆

• 復合材料

• 電池與儲能

• 汽車與航空航天