VSS - 300 真空工藝烘箱
VSS - 300 回流焊系統(tǒng)是一款出色的設備，適用于多種焊接工藝，可處理直徑達 300 毫米的晶圓，或 300 毫米 ×300 毫米、高度 75 毫米的基板（選配件：EH 型，高度 120 毫米 ）。
應用示例如下：
可作為實驗室爐，供各類研發(fā)人員實施和研究新工藝、進行原型研究、環(huán)境研究，以及用于小批量試產或量產 。
工藝氣體
VSS - 300 可使用標準工藝氣體，如氮氣、氧氣、形成氣（還原氣 ）。腔室密封，易于清潔 。
氣流控制
默認配置一路帶質量流量控制器（MFC ）的氮氣流路（5 標準升 / 分鐘 ），還可增配三路氣路（選配件：MFC ） 。
真空度
系統(tǒng)可實現真空度達 10?3 百帕（可選配至 10?? 百帕 ） 。
加熱
可達到的最高溫度為 450°C（選配件：650°C ）。關鍵特點是精準控制的快速升溫（150 開爾文 / 分鐘 ）以及出色的降溫速率（取決于溫度和負載 ） 。
溫度分布
VSS - 300 能實現的溫度分布與均勻性?？蛇x配在石英底板上插入石墨基座 。
編程控制
VSS - 300 由 SPS SIMATIC® 控制器控制。7 英寸觸摸屏讓工藝編程與控制十分便捷。最多可存儲 50 個程序，每個程序含 50 個步驟（可從外部數據存儲設備無限制地上傳、下載程序 ） 。
工藝控制
軟件可對以下參數進行持續(xù)監(jiān)測、讀取和分析：

工藝氣體
除氮氣、氧氣、成形氣等標準工藝氣體外，該系統(tǒng)（取決于型號）還可使用純氫氣（可選配 H2 和 HS2）。腔室采用密封設計，易于清潔。選配 RSS-FA 可使用甲酸，以實現無空洞焊接效果。

流量控制
標配 1 條帶質量流量控制器（MFC）的氣體管路。甲酸模塊（RSS-FA）或 100% 氫氣（RSS-H2）等選配件，由獨立質量流量控制器控制或共用氣體管路。

真空
系統(tǒng)可實現 10?3 百帕的真空度?？蛇x配件包括膜片泵、耐化學泵（使用 RSS-FA 時推薦）和旋片泵。

溫度分布
最高溫度為 400°C（可選配至 500°C）。核心特點是精確控制的快速升溫（取決于型號，最高 240 K / 分鐘）和降溫速率（最高 120 K / 分鐘）。熱板具有優(yōu)異的溫度分布性和均勻性。

編程

系統(tǒng)配備 7 英寸觸摸屏，可直接在設備上便捷編程?？纱鎯?50 個程序，每個程序含 50 個步驟。可從外部存儲介質無上傳和下載程序。

• 溫度

• 工藝氣體流量

• 冷卻水位狀態(tài)

• 壓力值及狀態(tài)