核心性能規(guī)格

I-V 源測量單元（SMUs）

• ±210 V/100 mA 或 ±210 V/1 A 模塊

• 100 fA 測量分辨率

• 搭配可選前置放大器時，測量分辨率可達 10 aA

• 10 mHz – 10 Hz 超低頻電容測量

• 100 µF 負載電容

• 四象限運行

• 支持 2 線或 4 線連接

C-V 多頻電容單元（CVUs）

• 交流阻抗測量（C-V、C-f、C-t）

• 1 kHz – 10 MHz 頻率范圍

• 內(nèi)置 ±30 V 直流偏置（差分 60 V），可擴展至 ±210 V（差分 420 V）

• 搭配可選 CVIV 多開關模塊，可在 I-V 與 C-V 測量間輕松切換

脈沖式 I-V 超快速脈沖測量單元（PMU）

• 兩個獨立或同步的高速脈沖 I-V 源與測量通道

• 200 MS/s 采樣率，5 ns 采樣間隔

• ±40 V（80 V 峰峰值），±800 mA

• 瞬態(tài)波形捕獲模式

• 任意波形發(fā)生器，支持多電平脈沖波形，可編程分辨率為 10 ns

高壓脈沖發(fā)生器單元（PGU）

• 兩個高速脈沖電壓源通道

• ±40 V（80 V 峰峰值），±800 mA

• 任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式，支持多電平脈沖波形，可編程分辨率為 10 ns

I-V/C-V 多開關模塊（CVIV）

• 無需重新布線或抬起探針，即可在 I-V 與 C-V 測量間切換

• 無需重新布線或抬起探針，即可將 C-V 測量切換至任意端子

• 支持 ±210 V 直流偏置

遠程前置放大器 / 開關模塊（RPM）

• 自動在 I-V、C-V 與超快速脈沖式 I-V 測量間切換

• 將 4225-PMU 的電流靈敏度擴展至數(shù)十皮安（pA）

• 降低電纜電容影響