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KLA iMicro納米壓痕儀可輕松測量硬質涂層、薄膜和小尺寸材料等。其準確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度測試、劃痕和納米級萬能試驗等多種納米力學測試。作動器易于更換，能夠提供大范圍的動態載荷和位移，對于從軟質聚合物到硬質金屬/陶瓷等材料，均可以進行準確而可重復的測試。模塊化的功能選項可以適配各種應用：材料力學特性圖譜、頻率相關特性測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。

KLA NanoFlip納米壓痕儀可在真空和氣氛條件下，準確、精密地進行硬度、模量、屈服強度、剛度和其它納米力學性能的測試。無論在掃描電子顯微鏡(SEM)或是聚焦離子束(FIB)系統中，NanoFlip均可出色完成微柱壓縮等測試，并將SEM圖像與力學測試數據同步。NanoFlip是一款緊湊、靈活的原位納米力學測試儀，其測試速度快，這對于在惰性條件下（例如手套箱中）測試非均質材料至關重要。

KLA iNano®納米壓痕儀使測量薄膜、涂層和小體積材料變得更簡單。準確、靈活、用戶友好的儀器可以進行多樣的納米材料力學測試，包括壓痕、硬度、劃痕和通用的納米尺度測試。大范圍的力和位移動態測量范圍允許對從軟聚合物到金屬的材料進行精確和可重復的測試。 模塊選項可以適配各種應用：材料性能分布圖、特定頻率的測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。

KLA Nano Indenter® G200X納米壓痕儀是一種易于使用的納米級力學測試工具，可快速提供精確的定量分析結果。G200X系統可處理從硬質涂層到軟質聚合物的各種樣品，并提供KLA Instruments納米壓痕儀產品線中全面的測試套件。