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KLA Filmetrics R50系列四探針電阻測試儀，方塊電阻測試儀可對金屬層厚度、薄膜電阻、薄膜電阻率、薄膜電導和薄膜電導率進行測繪。R54是方塊電阻測量的最新一代升級款，它在保持 R50相同性能情況下提供遮光環境，能夠支持半導體和化合物半導體應用。