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NV-中心共聚焦低溫顯微鏡的工作原理是將激光束穿過光源孔徑，該光源孔徑由物鏡聚焦到樣品表面的小區域，并通過收集樣品表面發射的光子逐像素構建圖像。 LT-SCM 提供高分辨率圖像，整個視場內所有區域都聚焦，即使對于表面有凹痕和突起的樣品也是如此。它可以在可變溫度下進行非接觸式和無損測量。