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RSS-3X210 緊湊型回流焊系統(tǒng) 適用于最多 12 片直徑為 100 毫米的晶圓。溫度最高可達 300°C。升溫速率最高可達 120 開爾文 / 分鐘。降溫速率為 60 開爾文 / 分鐘。真空度可達 10?³ 百帕。

RSO-300 真空燒結爐回流焊系統(tǒng) 適用基板尺寸為 309 毫米 ×319 毫米 ×40 毫米。最高溫度：650°C。升溫速率最高可達 10 開爾文 / 秒。配備 7 英寸觸摸屏的 SIMATIC® 控制器。真空度可達 10?³ 百帕。帶有用于氮氣的質(zhì)量流量控制器的工藝氣路。

RSO-210 真空燒結爐回流焊系統(tǒng) 適用基板尺寸為 210 毫米 ×210 毫米或 8 英寸晶圓。最高溫度：650°C。升溫速率最高可達 10 開爾文 / 秒。真空度可達 10?³ 百帕。帶有用于氮氣的質(zhì)量流量控制器的工藝氣路。配備 7 英寸觸摸屏的 SIMATIC® 控制器。

VSS-450-300 臺式真空燒結爐 適用基板尺寸最大為 300 毫米 ×300 毫米 ×70 毫米。升溫速率最高達 150 開爾文 / 分鐘。真空度可達 10?³ 百帕（可選 10??百帕）。

RSS-210-S 臺式真空燒結爐回流焊系統(tǒng)是各類焊接工藝的理想工具，可處理的基板尺寸最大為 210 毫米 ×210 毫米，高度為 40 毫米（可選配增高款）。