Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)和 Tergeo 等離子體清洗機(jī)之間的區(qū)別是樣品室和射頻功率的大小。樣品室內(nèi)徑從 Tergeo 的 4.3″/110 mm 增加到 Tergeo-plus 的 6.3″/160 mm。樣品室的深度相同，例如 11″/280 mm。

Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)的規(guī)格和特點(diǎn)：

Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)的應(yīng)用與標(biāo)準(zhǔn) Tergeo 等離子清洗機(jī)相似，不同之處在于它可以容納更大的樣品。以下是典型應(yīng)用的列表：

• 引線鍵合、倒裝芯片封裝、器件封裝和解封裝

• SEM/TEM 樣品清洗用于去除碳污染物和減少氧化物

• 生物醫(yī)用涂層前的表面處理與提高醫(yī)用植入物親水性

• 環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)、玻璃和基板清潔

• 光刻膠灰化、除渣和硅片清洗

• PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室

• 改善金屬與金屬或復(fù)合材料的粘合

• 改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合

Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)

• 德國萊茵 TüV 認(rèn)證并確認(rèn)符合 UL、IEC 和 CSA 61010-1 安全標(biāo)準(zhǔn)。NRTL 兼容！

• 大型樣品室（ID：160 mm，L280 mm）。足以容納一個 4 英寸晶圓舟和一個 6 英寸晶圓。

• 清洗模式：直接模式和下游模式。雙等離子體源，適用于兩種等離子體清洗模式。用于高速蝕刻和表面改性的直接模式等離子體清洗;用于溫和去除表面污染的遠(yuǎn)程/下游模式等離子體清洗，例如 SEM/TEM 樣品清洗。

• 連續(xù)和脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%（連續(xù)）變?yōu)樾∮?1%。Tergeo 等離子體系統(tǒng)不僅以 1 瓦的間隔調(diào)節(jié)射頻功率瓦數(shù)，而且還能產(chǎn)生連續(xù)和脈沖等離子體。使等離子體強(qiáng)度改變幾個數(shù)量級以上。

• 操作方式：自動執(zhí)行配方;自動執(zhí)行作業(yè)順序;手動操作。

• 等離子體傳感器：雙等離子體強(qiáng)度傳感器，監(jiān)測原位等離子體源和遠(yuǎn)程等離子體源。等離子體強(qiáng)度實(shí)時顯示在 LCD 觸摸屏上。

• 先進(jìn)的過程控制功能：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC 中的氣體流量計(jì)、雙等離子體強(qiáng)度傳感器、自動阻抗匹配。

• 滅菌室材料：鋁法蘭和厚壁高純度石英管增強(qiáng)了耐化學(xué)性，減少了派熱克斯玻璃中的堿性雜質(zhì)（Ca、K、Na）。

• 樣品保持器：2mm 厚高純石英板

• 腔室尺寸：內(nèi)徑：160 mm;外徑：170 mm;深度：280 mm

• 射頻電極：與其他等離子體清潔器中的內(nèi)部金屬電極相比，外部射頻電極和天線設(shè)計(jì)減少了金屬濺射。

• 射頻電源：13.56MHz 高頻射頻電源，帶自動阻抗匹配，用于原位等離子體源。射頻功率有三種選擇：13.56MHz 時的 150 瓦、300 瓦和 500 瓦。射頻功率可按 1 瓦間隔調(diào)節(jié)。13.56 MHz 射頻電源產(chǎn)生的等離子體密度比低效率的 KHz 電源高得多。

• 氣體輸入：多達(dá)三個 MFC 控制氣體輸入（0~ 100 sccm）。一個額外的端口用于通風(fēng)和吹掃。1/4 英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。

• 用戶界面：7 英寸電阻式觸摸屏，用手指觸摸，無需手寫筆。

• 配方和作業(yè)支持：共20個可定制的配方。作業(yè)順序中最多三個清潔步驟。

要求

• 交流輸入：110 V ~ 230 V 通用交流電源支持

• 泵口：NW/KF 25

• 抽真空速度：2.0 cfm 或更高。

• 真空泵的極限壓力：50 mTorr 或更低