您的位置:網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品中心 > OAI/美國 > Model 6020 全自動掩模曝光機(jī) > Model 6020 全自動掩模曝光機(jī)

簡要描述:Model 6020 全自動掩模曝光機(jī)由OAI設(shè)計(jì)與制造用于重新分布層(RDL)面板級封裝和玻璃面板曝光的大尺寸基板生產(chǎn)型掩模對準(zhǔn)器或泛光曝光系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號:
所屬分類:Model 6020 全自動掩模曝光機(jī)
更新時(shí)間:2025-07-04
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

Model 6020 全自動掩模曝光機(jī)
頂面 / 底面對準(zhǔn)
高吞吐量
1 千瓦–8 千瓦準(zhǔn)直光束光源,光束尺寸從 12 平方英寸到 20 平方英寸
光源光束均勻性達(dá) 3-5%
用于自動對準(zhǔn)的高速編碼器和電機(jī)
SECS/GEM 通信協(xié)議兼容性
多種面板處理能力
12 平方英寸到 20 平方英寸的面板
可選分步卡盤,用于子面板加工
14 平方英寸到 24 平方英寸的掩模插入件
楔形效應(yīng)調(diào)平
工藝重復(fù)性
<2.0 微米的印刷分辨率
遠(yuǎn)程診斷
——————————————————————————————————————
