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簡要描述:KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)*的集成式表面和光致發(fā)光(PL)缺陷檢測系統(tǒng)可以捕獲各種關鍵襯底和外延缺陷。采用統(tǒng)計制程控制(SPC)的方法來進行自動晶圓檢測,可顯著降低由外延缺陷導致的良率損失,最大限度地減少金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)反應器的工藝偏差,并增加MOCVD反應器的正常運行時間。
產品型號:
所屬分類:表面缺陷檢測系統(tǒng)
更新時間:2025-08-14
廠商性質:生產廠家
KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)采用專有的光學技術,可同時測量兩個入射角的散射強度。它可以捕捉到形貌變化、表面反射率、相位變化和光致發(fā)光,從而對各種關鍵缺陷進行自動檢測與分類。應用包括射頻、功率和高亮度LED的氮化鎵檢測,能夠檢測裂紋、晶體位錯、小丘、微坑、滑移線、凸點和六角凸點以及外延缺陷。KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)還可用于其他化合物半導體工藝材料的缺陷檢測,例如用于LED、垂直腔面發(fā)射激光器和光子學應用的砷化鎵和磷化銦。

對直徑達200毫米的化合物半導體材料進行缺陷檢測。
支持各種晶圓厚度
適用于宏觀和微觀缺陷,如裂紋、多量子阱擾動、微粒、劃痕、凹坑、凸起和沾污缺陷

襯底質量控制
襯底供應商對比
入廠晶圓質量控制(IQC)
出廠晶圓質量控制(OQC)
CMP(化學機械拋光工藝)/拋光工藝控制
晶圓清洗工藝控制
外延工藝控制
襯底與外延缺陷關聯(lián)
外延反應器供應商的對比
工藝機臺監(jiān)控

高亮度LED、微型LED包括AR|VR
氮化鎵的射頻和氮化鎵的功率應用
通信(5G、激光雷達、傳感器)
其他化合物半導體器件
SECS-GEM
信號燈塔
金剛石劃線
校準標準
離線軟件
光學字符識別(OCR)
光致發(fā)光