熱重分析質譜儀可以檢測到非常低含量的雜質，這一手段越來越受歡迎。通過熱重加熱樣品，樣品會因揮發物的存在或者燃燒分解出氣體，這些氣體被傳輸到質譜儀中，加以識別。 由于質譜可以檢測材料非常低的含量，TG-MS聯用成為質量控制、產品安全和產品開發一個強有力的手段。熱重分析質譜儀是將熱重分析耦合到Hiden質譜儀上的一整套接口系統。能夠充分利用進樣毛細管快速響應和低死體積的優點，配合上受歡迎的TGA設備。
熱重分析質譜儀可測試樣品在不同溫度下揮發或斷鏈氣化的重量損失，所以可以定量在不同溫度下，得到裂解成分比例的訊息，但對于是那一種物質的定性特性則無法得知，此時需要借重其他定性設備的能力才能得知特定溫度裂解的物質結構，例如藉由聯結Mass質譜儀的分子量測試得知物質種類TG-Mass (熱重-質譜儀)。
熱重分析質譜儀使用環境要求:
①周圍無強烈震蕩源及電磁感應裝置 ;
②電源要求接地交流電 ;
③室溫要求15～28℃ ;
④相對濕度要求20%～80%。
熱重質譜分析系統配置:
1. 溫度范圍：20℃-1000℃
2. 升溫與降溫速率：0-100 K/min
3. 冷卻時間：10min
4. 稱重范圍：2000 mg
5. 測量氣氛：二氯甲烷、水、乙醇和丙酮。
6. 質量流量計
7. 真空密閉結構，真空度可達 10-2 mbar
熱重分析質譜儀采用新設計的接口和離子光學系統，實現了高靈敏度、高穩定性。具有多順序測定方式，一次進樣可測得多種分析條件下的數據，全面支持光電二極管陣列檢測器，是別的LC/MS。熱重分析質譜儀主要測試樣品的重量或者重量百分比隨著溫度的升高、降低或等溫過程的連續變化情況。通常而言，這類測試都會在一定的動態氣體氛圍中進行，比如高純氮氣或者高純氧氣等環境中。
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