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勻膠旋涂機(jī)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。勻膠旋涂機(jī)機(jī)身采用全工程塑料制作,...
Harrick等離子清洗機(jī)采用電感耦合高密度等離子體(ICP),能快速去除晶圓上之殘留光阻(光刻膠),達(dá)到晶圓表面潔凈,Harrick等離子清洗機(jī)具有蝕刻率高,無電極污染,離子能量低,不損傷基板等優(yōu)點(diǎn)。Harrick等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)組成,...
勻膠旋涂機(jī)工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠旋涂機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)??梢栽O(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來存儲(chǔ)不...
微波等離子去膠機(jī)概述:Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng),可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理...
PDC-002等離子清洗機(jī)是一種小型化、超清洗設(shè)備。該款等離子體表面處理儀采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。這款等離子體表面處理儀外接一臺(tái)真空非破壞性的泵,工作時(shí)等離子體表面處理儀的清洗腔中的等離子體...
等離子清洗機(jī)分大氣壓的和真空的兩大類,大氣的又分為帶狀等離子清洗機(jī)和電暈機(jī)兩種,真空等離子清洗機(jī)在加入腐蝕性氣體后,具備蝕刻能力,通常蝕刻膠水和電氣走線,應(yīng)用在PCB及芯片行業(yè)。等離子清洗機(jī)是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗...
擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機(jī)外接一臺(tái)真空泵,工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被*地清洗掉,同時(shí)污染物被真空泵抽走,其清...
等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機(jī)外接一臺(tái)真空泵,工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被*地清洗掉,同時(shí)污染物被真空泵抽走,其清洗程度...
等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì),能夠有效地避免液體清洗介質(zhì)對清洗物產(chǎn)生的二次污染。外接的真空泵,清洗腔中等離子體沖刷被洗物的表面,短時(shí)間就能夠?qū)⒂袡C(jī)污染物*清洗掉,于此同時(shí),污染物還被真空泵抽走,這樣就達(dá)到了清洗的目的。在特定的環(huán)境中,可...