iMicro納米壓痕儀是一種高精度的材料力學(xué)性能測試設(shè)備，具有寬泛的測試功能，可提供高通量的自動化測試，并配有統(tǒng)計數(shù)據(jù)分析包。適用于納米力學(xué)性能測量、掃描探針顯微成像、高溫測量和IV電壓電流特性測試等多種應(yīng)用場景，能滿足不同用戶的多樣化需求。集成了噪音隔離功能的高剛度框架，有效減少外界干擾，確保對各種材料進行準確測量。數(shù)碼變焦的高分辨光學(xué)顯微鏡，可準確定位樣本，進一步提高測試精度。能夠測量從超軟凝膠到硬涂層的各種材料的硬度和模量，包括金屬、陶瓷、復(fù)合材料、薄膜、聚合物、生物材料等，為不同領(lǐng)域的研究提供了可能。
 

　　iMicro納米壓痕儀的測定步驟：
 

　　1.前期準備工作
 

　　-儀器檢查與環(huán)境準備：確認儀器電源、氣源(如需)連接正常，檢查壓頭、載物臺、顯微鏡等部件是否清潔無損壞；將儀器置于平穩(wěn)的工作臺上，避免外界震動干擾；建議佩戴防護眼鏡以防飛濺物傷害；開機前需預(yù)熱儀器至設(shè)定溫度(通常30分鐘至1小時)，尤其是壓電陶瓷或線圈系統(tǒng)，以確保性能穩(wěn)定。
 

　　-樣品制備與安裝：樣品需切割至合適尺寸(如10 mm×10 mm)，表面經(jīng)拋光處理至鏡面效果，并超聲清洗去除污染物；使用專用夾具固定樣品，確保表面與壓頭垂直，避免傾斜導(dǎo)致壓痕形態(tài)異常。
 

　　2.參數(shù)設(shè)置與校準
 

　　-壓頭選擇與標定：根據(jù)測試需求選擇壓頭類型(如柏氏壓頭、三角錐形壓頭)，并檢查壓頭半徑及磨損情況；使用標準硬度塊(如熔融石英)進行壓頭標定，通過多次壓痕獲取載荷-位移曲線，計算實際接觸面積與硬度值，修正系統(tǒng)誤差。
 

　　3.測試操作流程
 

　　-壓痕測試：啟動程序后，操控壓頭緩慢接近樣品表面，調(diào)整至接觸狀態(tài)(零點校準)；按設(shè)定程序加載載荷，實時監(jiān)測載荷-位移曲線，觀察彈性變形與塑性變形階段；卸載后需等待一段時間(如30秒)以消除熱漂移影響，再進行下一次壓痕。
 

　　-多點測量與重復(fù)性控制：同一樣品需進行多次壓痕(通常≥5次)，取平均值以提高數(shù)據(jù)可靠性；避免壓痕間距離過近(建議≥10倍壓痕深度)，防止應(yīng)力場疊加導(dǎo)致誤差。